IS 系列貴金屬鍍膜設備參數(shù) | |
型號 | IS13-2 |
真空室尺寸 | 裝載腔: 494*475*510 (mm) 工藝腔: 516*475*530 (mm) |
磁控濺射源 | 3 個 |
等離子清洗源 | 1 個 |
極限真空 | <5.0*10-5 Pa |
最高溫度 | <500℃(工件加溫) |
涂層區(qū)域 | Φ45*60 (工件最大尺寸) |
控制系統(tǒng) | ·全自動工藝控制軟件 ·參數(shù)實時監(jiān)測系統(tǒng) |
真空室結構 | 鍍膜腔+裝載腔 |
設備尺寸 | 2700*2280*2770 (mm) |
功率 | 20KW |
備注 | 設備可依據(jù)客戶需求進行定制 |