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IS-PM 貴金屬膜層專用設備
IS13-2
IS-PM 系列貴金屬薄膜專用鍍膜設備采用雙腔室結(jié)構設計,工 藝腔+裝/卸載腔,是工藝可靠性與制程效率的完美融合。設備配備一 套高能離子束清洗源(Ionbeam Cleaning Source),多套磁控濺射 源(Magnetron Sputtering Source),配合可靠的伺服電磁推進系 統(tǒng),設備模塊化程度高、穩(wěn)定性好、操作簡單且維護方便。
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IS-PM 系列貴金屬薄膜專用鍍膜設備采用雙腔室結(jié)構設計,工 藝腔+裝/卸載腔,是工藝可靠性與制程效率的完美融合。設備配備一 套高能離子束清洗源(Ionbeam Cleaning Source),多套磁控濺射 源(Magnetron Sputtering Source),配合可靠的伺服電磁推進系 統(tǒng),設備模塊化程度高、穩(wěn)定性好、操作簡單且維護方便。
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